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- 010 __ |a 978-7-111-40657-0 |d CNY69.00
- 100 __ |a 20130407d2013 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微机电系统基础 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Chu |d Foundations of mems |f (美)Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013
- 215 __ |a 13,397页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。
- 510 1_ |a Foundations of mems |z eng
- 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |j 教材
- 701 _0 |c (美) |a 刘昶 |A Liu Chang |4 著
- 702 _0 |a 黄庆安 |A Huang Qing An |4 译
- 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20170413
- 905 __ |a DQNU |d TM38/L64 |s 3