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• 010 __ |a 978-7-122-36940-6 |d CNY79.00

• 100 __ |a 20210127d2021 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微细加工与微纳加工技术及应用 |A wei xi jia gong yu wei na jia gong ji shu ji ying yong |d Micro machining and micro-nano machining technologies and applications |f 赵波，李伯民，李清等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2021

• 215 __ |a 214页 |c 图，照片 |d 26cm

• 330 __ |a 本书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。

• 510 1_ |a Micro machining and micro-nano machining technologies and applications |z eng

• 606 0_ |a 特种加工 |A Te Zhong Jia Gong |x 技术

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 赵波 |A zhao bo |4 编著

• 701 _0 |a 李伯民 |A li bo min |4 编著

• 701 _0 |a 李清 |A li qing |4 编著

• 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20210621

• 905 __ |a DQNU |d TG66/Z28 |s 3