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• 200 1_ |a 微机械电子系统及其应用 |9 wei ji xie dian zi xi tong ji qi ying yong |f 刘广玉, 樊尚春, 周浩敏编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 192页 |c 图 |d 23cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材。

• 330 __ |a 本书主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。

• 606 0_ |a 微电机 |x 高等学校 |j 教材

• 610 0_ |a MEMS

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 周浩敏 |9 zhou hao min |4 编著

• 701 _0 |a 刘广玉 |9 liu guang yu |4 编著

• 701 _0 |a 樊尚春 |9 fan shang chun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 033001 |c 20030421

• 801 _2 |a CN |b |c 20071114

• 905 __ |a DQNU |d TM38/L66

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