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• 010 __ |a 7-03-010565-6 |b 精装 |d CNY78.00

• 035 __ |a (033001)012002078366

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微传感器与微执行器全书 |9 wei chuan gan qi yu wei zhi xing qi quan shu |d Micromachined Transducers Sourcebook |f (美)格雷戈里 T.A.科瓦奇(Gregory T.A.Kovacs)著 |g 张文栋等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 29,673页 |c 图表 |d 25cm

• 300 __ |a 并列题名：Micromachined Transducers Sourcebook。

• 300 __ |a 由科学出版社和美国麦格劳－希尔教育出版集团合作出版。

• 330 __ |a 本书涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了介绍。

• 510 1_ |a Micromachined Transducers Sourcebook |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |x 微型 |j 手册

• 606 0_ |a 执行器 |x 微型 |j 手册

• 690 __ |a TP212-62 |v 4

• 690 __ |a TH86-62 |v 4

• 701 _1 |c (美) |a 科瓦奇 |9 ke wa qi |b G.T.A. |4 著

• 701 _1 |c (美) |a Kovacs |b Gregory T.A. |4 著

• 702 _0 |a 张文栋 |9 zhang wen dong |4 译

• 801 _0 |a CN |b 033001 |c 20030515

• 801 _2 |a CN |b |c 20071127

• 905 __ |a DQNU |d TP212-62/G35

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• 995 __ |a ST |f TP212-62/G35 |s 1

• 999 __ |t C |A wlx |a 20071127 08:32:08 |M wlx |m 20071127 08:32:41 |G qiandl |g 20080617 08:23:4