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• 200 10 |a 超大规模集成电路技术 |e 工艺评价 |f 西泽润一编 |g 潘桂堂，石忠诚译 |A chao da gui mo ji cheng dian lu ji shu

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 1986

• 215 __ |a 309页 |d 16开

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• 701 _0 |a 西泽润一 |e 日 |4 编 |A xi ze run yi

• 702 _0 |a 石忠诚 |4 译 |A shi zhong cheng

• 702 _0 |a 潘桂堂 |4 译 |A pan gui tang

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