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• 010 __ |a 978-7-118-10053-2 |d CNY98.00

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• 101 0_ |a chi |d eng |e eng

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• 200 1_ |a 微机电耦合动力学 |A Wei Ji Dian Ou He Dong Li Xue |d Coupled dynamics of MEMs |f 许立忠，孙丽波著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2015

• 215 __ |a 20,303页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A Wei Mi Na Mi Ji Shu Cong Shu |i MEMS与微系统系列

• 330 __ |a 本书主要介绍MEMs典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论和应用。全书共分12章，主要包括：微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状；静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论；静电驱动微板、微梁机电耦合非线性动力学理论；考虑压膜阻尼的微梁机电流体耦合动力学理论等内容。

• 461 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书

• 462 _0 |1 2001 |a MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Coupled dynamics of MEMs |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 机电设备 |x 耦合 |x 动力学

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 许立忠 |A Xu Li Zhong |4 著

• 701 _0 |a 孙丽波 |A Sun Li Bo |4 著

• 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20160322

• 905 __ |a DQNU |d TN4/X79 |s 3