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• 200 1_ |a 微传感器、微机电系统和灵巧器件 |9 wei chuan gan qi、wei ji dian xi tong he ling qiao qi jian |e [英文本] |f [英]Julian W.Gardner，[美]Vijay K.Varadan，[美]Osama O.Awadelkarim[著]

• 205 __ |a 影印版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2004

• 215 __ |a 503页 |c 图表 |d 23cm

• 225 2_ |a 国际知名大学原版教材 |i 信息技术学科与电气工程学科系列 |v 31

• 300 __ |a 并列题名：Microsenors, MEMS, and Smart Devices。

• 300 __ |a 本书影印版由John Wiley & Sons,Inc授权出版。

• 330 __ |a 本书系统介绍微传感器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。

• 461 _0 |1 2001 |a 国际知名大学原版教材

• 462 _0 |1 2001 |a 信息技术学科与电气工程学科系列

• 510 1_ |a Microsenors, MEMS, and Smart Devices |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |x 微型 |x 高等学校 |j 教材 |j 英文

• 606 0_ |a 微电机 |x 高等学校 |j 教材 |j 英文

• 610 0_ |a 微机电系统

• 610 0_ |a MEMS

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |c (英) |a 瓦拉旦 |9 wa la dan |b V.K. |4 著

• 701 _1 |c (英) |a Varadan |b Vijay K. |4 著

• 701 _1 |c (英) |a 韦德尔卡姆 |9 hui de er ka mu |b O.O. |4 著

• 701 _1 |c (英) |a Awadelkarim |b Osama O. |4 著

• 701 _1 |c (英) |a 加德纳 |9 jia de na |b J.W. |4 著

• 701 _1 |c (英) |a Gardner |b Julian W. |4 著

• 801 _0 |a CN |b 033001 |c 20040527

• 801 _2 |a CN |b |c 20071226

• 905 __ |a DQNU |d TP212/J46

• 991 __

• 995 __ |a ST |f TP212/J46 |s 1

• 999 __ |t C |A wlx |a 20071106 18:38:57 |M qiandl |m 20071226 14:20:36 |G qiandl |g 20071226 14:20:3