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- 200 1_ |a 薄膜技术与薄膜材料 |9 bo mo ji shu yu bo mo cai liao |f 田民波编著
- 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2006
- 215 __ |a 25,962页 |d 23cm
- 312 __ |a 封面英文题名:Thin film technologies and materials
- 330 __ |a 本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析五大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面。
- 461 _0 |1 2001 |a 新材料及在高技术中的应用丛书
- 510 1_ |a Thin film technologies and materials |z eng
- 701 _0 |a 田民波 |9 tian min bo |4 编著
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