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• 010 __ |a 978-7-111-72041-6 |d CNY99.00

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 一本书读懂芯片制程设备 |A Yi Ben Shu Du Dong Xin Pian Zhi Cheng She Bei |f 王超[等]编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2023

• 215 __ |a 254页 |c 图，照片 |d 24cm

• 225 2_ |a 集成电路科学与技术丛书 |A Ji Cheng Dian Lu Ke Xue Yu Ji Shu Cong Shu

• 300 __ |a 机工通信

• 304 __ |a 编著者还有：姜晶、牛夷、王刚

• 330 __ |a 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

• 410 _0 |1 2001 |a 集成电路科学与技术丛书

• 606 0_ |a 芯片 |A Xin Pian |x 工业生产设备

• 690 __ |a TN430.505 |v 5

• 701 _0 |a 王超 |A Wang Chao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20250409

• 905 __ |a DQNU |d TN430.505/W14 |s 2