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• 010 __ |a 978-7-118-09432-9 |b 精装 |d CNY180.00

• 100 __ |a 20141108d2014 em y0chiy50 ea

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• 200 1_ |a 微机电系统原理 |A Wei Ji Dian Xi Tong Yuan Li |d Principles of microelectromechanical systems |f (韩)Ki Bang Lee著 |g 马晓军等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a 10,597页 |d 25cm

• 225 2_ |a 国防科技著作精品译丛 |A Guo Fang Ke Ji Zhu Zuo Jing Pin Yi Cong

• 304 __ |a 译者还有：吕强、王国胜、魏曙光等

• 305 __ |a 由John Wiley & Sons International Rights, Inc.授权出版

• 330 __ |a 本书共分九章，第一章为绪论部分，介绍了微机电系统的量纲分析法。第二章介绍了微制造技术。第三章为微机电系统在静力平衡条件下的静力学分析。第四章为微结构的静力性能分析。第五章为微机电系统动力学分析。第六章为微机电系统流体力学分析。第七章介绍MEMS设计中涉及的基于电磁学的基本方程。第八章和第九章介绍如何通过MEMS组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。

• 461 _0 |1 2001 |a 国防科技著作精品译丛

• 510 1_ |a Principles of microelectromechanical systems |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |c (韩) |a 李基邦 |A Li Ji Bang |4 著

• 702 _0 |a 马晓军 |A Ma Xiao Jun |4 译

• 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20160729

• 905 __ |a DQNU |d TM38/L26 |s 1