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• 010 __ |a 978-7-03-029220-9 |b 精装 |d CNY56.00

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• 200 1_ |a 微机电系统设计 |9 wei ji dian xi tong she ji |e 建模、仿真与可视化 |f 卢桂章，赵新著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 278页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 半导体科学与技术丛书

• 330 __ |a 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。

• 461 _0 |1 2001 |a 半导体科学与技术丛书

• 606 0_ |a 微电机 |x 系统设计

• 690 __ |a TM380.2 |v 4

• 701 _0 |a 卢桂章 |9 lu gui zhang |4 著

• 701 _0 |a 赵新 |9 zhao xin |4 著

• 801 _0 |a CN |b |c 20110803

• 905 __ |a DQNU |d TM380.2/L82

• 909 __ |a 00944263 |b 精装 |f TM380.2/L82 |x ZRKX |e 001 |j 01

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