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• 010 __ |a 978-7-5641-1575-3 |d CNY50.00

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS可靠性 |b 专著 |d Reliability of MENS |f (日)O. Tabata，(日)土屋智由著 |g 宋竞[等]译 |z eng |A MEMS ke kao xing

• 210 __ |a 南京 |c 东南大学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 247页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳系统系列译丛 |A Wei Na Xi Tong Xi Lie Yi Cong

• 305 __ |a 本书由WILEY-VCH授权出版

• 330 __ |a 本书分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。

• 461 _0 |1 001002872141

• 510 1_ |a Reliability of MENS |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 可靠性

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |c (日) |a 塔巴塔 |c (Tabata, O.) |4 著 |A ta ba ta

• 701 _0 |c (日) |a 楚基亚 |c (Tsuchiya, T.) |4 著 |A chu ji ya

• 702 _0 |a 宋竞 |4 译 |A song jing

• 801 _0 |a CN |b DQNU |c 20160615

• 905 __ |a DQNU |d TN4/T10 |s 3