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题名/责任者:

MEMS可靠性/(日)O. Tabata，(日)土屋智由著 宋竞[等]译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-5641-1575-3/CNY50.00

载体形态项:

247页:图;24cm

并列正题名:

Reliability of MENS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

(日) 塔巴塔 (Tabata, O.) 著

个人责任者:

(日) 楚基亚 (Tsuchiya, T.) 著

个人次要责任者:

宋竞 译

学科主题:

微电子技术-可靠性

中图法分类号:

TN4

版本附注:

本书由WILEY-VCH授权出版

提要文摘附注:

本书分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。

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