MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 微传感器与微执行器全书/(美)格雷戈里 T.A.科瓦奇(Gregory T.A.Kovacs)著 张文栋等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010565-6 精装/CNY78.00
- 载体形态项:
- 29,673页:图表;25cm
- 个人责任者:
- (美) 科瓦奇 G.T.A. 著
- 个人责任者:
- (美) Kovacs Gregory T.A. 著
- 个人次要责任者:
- 张文栋 译
- 学科主题:
- 传感器-微型-手册
- 学科主题:
- 执行器-微型-手册
- 中图法分类号:
- TP212-62
- 中图法分类号:
- TH86-62
- 一般附注:
- 并列题名：Micromachined Transducers Sourcebook。
- 一般附注:
- 由科学出版社和美国麦格劳－希尔教育出版集团合作出版。
- 提要文摘附注:
- 本书涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了介绍。
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