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- 题名/责任者:
- 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-03-069254-2/CNY128.00
- 载体形态项:
- 11,404页:图;24cm
- 个人责任者:
- 顾长志 (1964~) 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-新技术应用-研究生-教材
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 中国科学院大学研究生教材系列
- 提要文摘附注:
- 本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TB383/G55 | 01305654 |  语言、自然科学阅览室
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可借 | 语言、自然科学阅览室 | |
| TB383/G55 | 01305655 | 语言、自然科学阅览室
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可借 | 语言、自然科学阅览室 | |
| TB383/G55 | 01305653 | 样本书阅览室
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非可借 | 样本书阅览室 |
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