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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:25

题名/责任者:
中国电子信息工程科技发展研究.集成电路芯片制造工艺专题/中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[著]
出版发行项:
北京:科学出版社,2019
ISBN及定价:
978-7-03-062359-1/CNY99.00
载体形态项:
72页:图;21cm
其它题名:
集成电路芯片制造工艺专题
团体责任者:
中国信息与电子工程科技发展战略研究中心
学科主题:
电子信息-信息工程-科技发展-研究-中国
学科主题:
集成芯片-制造-科技发展-研究-中国
中图法分类号:
G203
中图法分类号:
TN430.5
提要文摘附注:
本书以产业发展主流工艺为导向,对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述,并在介绍单项工艺后,解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。
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G203/Z50-13 01317490   社会科学阅览室     可借 社会科学阅览室
G203/Z50-13 01317491   社会科学阅览室     可借 社会科学阅览室
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