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题名/责任者:

微传感器、微机电系统和灵巧器件:[英文本]/[英]Julian W.Gardner，[美]Vijay K.Varadan，[美]Osama O.Awadelkarim[著]

版本说明:

影印版

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2004

ISBN及定价:

7-302-08122-0/CNY55.00

载体形态项:

503页:图表;23cm

并列正题名:

Microsenors, MEMS, and Smart Devices

丛编项:

国际知名大学原版教材.信息技术学科与电气工程学科系列;31

个人责任者:

(英) 瓦拉旦 V.K. 著

个人责任者:

(英) Varadan Vijay K. 著

个人责任者:

(英) 韦德尔卡姆 O.O. 著

个人责任者:

(英) Awadelkarim Osama O. 著

个人责任者:

(英) 加德纳 J.W. 著

个人责任者:

(英) Gardner Julian W. 著

学科主题:

传感器-微型-高等学校-教材-英文

学科主题:

微电机-高等学校-教材-英文

非控制主题词:

微机电系统

非控制主题词:

MEMS

中图法分类号:

TP212

中图法分类号:

TM38

一般附注:

并列题名：Microsenors, MEMS, and Smart Devices。

一般附注:

本书影印版由John Wiley & Sons,Inc授权出版。

提要文摘附注:

本书系统介绍微传感器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。

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