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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:18

题名/责任者:
微机电耦合动力学/许立忠,孙丽波著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2015
ISBN及定价:
978-7-118-10053-2/CNY98.00
载体形态项:
20,303页:图;24cm
并列正题名:
Coupled dynamics of MEMs
丛编项:
微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
个人责任者:
许立忠
个人责任者:
孙丽波
学科主题:
微电子技术-机电设备-耦合-动力学
中图法分类号:
TN4
提要文摘附注:
本书主要介绍MEMs典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论和应用。全书共分12章,主要包括:微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状;静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论;静电驱动微板、微梁机电耦合非线性动力学理论;考虑压膜阻尼的微梁机电流体耦合动力学理论等内容。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN4/X79 01126835 2015 - 语言、自然科学阅览室     可借 语言、自然科学阅览室
TN4/X79 01126836 2015 - 语言、自然科学阅览室     可借 语言、自然科学阅览室
TN4/X79 01126834 2015 - 样本书阅览室     非可借 样本书阅览室
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