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MARC状态:已编 文献类型:规范文档 浏览次数:13

题名/责任者:
MEMS光纤声压传感器技术/金鹏[等]著
出版发行项:
北京:科学出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-03-069327-3/CNY99.00
载体形态项:
170页:图;24cm
并列正题名:
Fiber acoutics sensors based on MEMS
并列正题名:
Fiber acoustics sensors based on MEMS
个人责任者:
金鹏
学科主题:
光纤压力传感器
中图法分类号:
TP212.4
一般附注:
国家科学技术学术著作出版基金资助出版
题名责任附注:
著者还有:刘彬、钟志、林杰、方尔正
提要文摘附注:
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景;其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理,从光学和力学两个角度进行介绍与分析;然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装;最后对传感器的性能进行测试。
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TP212.4/J88 01302113   语言、自然科学阅览室     可借 语言、自然科学阅览室
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