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- 题名/责任者:
- MEMS光纤声压传感器技术/金鹏[等]著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-03-069327-3/CNY99.00
- 载体形态项:
- 170页:图;24cm
- 个人责任者:
- 金鹏 著
- 学科主题:
- 光纤压力传感器
- 中图法分类号:
- TP212.4
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 题名责任附注:
- 著者还有:刘彬、钟志、林杰、方尔正
- 提要文摘附注:
- 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景;其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理,从光学和力学两个角度进行介绍与分析;然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装;最后对传感器的性能进行测试。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TP212.4/J88 | 01302113 | 语言、自然科学阅览室 | 可借 | 语言、自然科学阅览室 | |
TP212.4/J88 | 01302114 | 语言、自然科学阅览室 | 可借 | 语言、自然科学阅览室 | |
TP212.4/J88 | 01302112 | 样本书阅览室 | 非可借 | 样本书阅览室 |
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