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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:11

题名/责任者:
微传感器、微机电系统和灵巧器件:[英文本]/[英]Julian W.Gardner,[美]Vijay K.Varadan,[美]Osama O.Awadelkarim[著]
版本说明:
影印版
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2004
ISBN及定价:
7-302-08122-0/CNY55.00
载体形态项:
503页:图表;23cm
并列正题名:
Microsenors, MEMS, and Smart Devices
丛编项:
国际知名大学原版教材.信息技术学科与电气工程学科系列;31
个人责任者:
(英) 瓦拉旦 V.K. 著
个人责任者:
(英) Varadan Vijay K. 著
个人责任者:
(英) 韦德尔卡姆 O.O. 著
个人责任者:
(英) Awadelkarim Osama O. 著
个人责任者:
(英) 加德纳 J.W. 著
个人责任者:
(英) Gardner Julian W. 著
学科主题:
传感器-微型-高等学校-教材-英文
学科主题:
微电机-高等学校-教材-英文
非控制主题词:
微机电系统
非控制主题词:
MEMS
中图法分类号:
TP212
中图法分类号:
TM38
一般附注:
并列题名:Microsenors, MEMS, and Smart Devices。
一般附注:
本书影印版由John Wiley & Sons,Inc授权出版。
提要文摘附注:
本书系统介绍微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TP212/J46 30304921   机电工程学院     可借
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