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- 题名/责任者:
- 微传感器、微机电系统和灵巧器件:[英文本]/[英]Julian W.Gardner,[美]Vijay K.Varadan,[美]Osama O.Awadelkarim[著]
- 版本说明:
- 影印版
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-302-08122-0/CNY55.00
- 载体形态项:
- 503页:图表;23cm
- 丛编项:
- 国际知名大学原版教材.信息技术学科与电气工程学科系列;31
- 个人责任者:
- (英) 瓦拉旦 V.K. 著
- 个人责任者:
- (英) Varadan Vijay K. 著
- 个人责任者:
- (英) 韦德尔卡姆 O.O. 著
- 个人责任者:
- (英) Awadelkarim Osama O. 著
- 个人责任者:
- (英) 加德纳 J.W. 著
- 个人责任者:
- (英) Gardner Julian W. 著
- 学科主题:
- 传感器-微型-高等学校-教材-英文
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材-英文
- 非控制主题词:
- 微机电系统
- 非控制主题词:
- MEMS
- 中图法分类号:
- TP212
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 并列题名:Microsenors, MEMS, and Smart Devices。
- 一般附注:
- 本书影印版由John Wiley & Sons,Inc授权出版。
- 提要文摘附注:
- 本书系统介绍微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。
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