MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：17
- 题名/责任者:
- 一本书读懂芯片制程设备/王超[等]编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-111-72041-6/CNY99.00
- 载体形态项:
- 254页:图，照片;24cm
- 丛编项:
- 集成电路科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 王超 编著
- 学科主题:
- 芯片-工业生产设备
- 中图法分类号:
- TN430.505
- 一般附注:
- 机工通信
- 题名责任附注:
- 编著者还有：姜晶、牛夷、王刚
- 提要文摘附注:
- 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。
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