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- 题名/责任者:
- 中国电子信息工程科技发展研究.集成电路芯片制造工艺专题/中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[著]
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2019
- ISBN及定价:
- 978-7-03-062359-1/CNY99.00
- 载体形态项:
- 72页:图;21cm
- 其它题名:
- 集成电路芯片制造工艺专题
- 团体责任者:
- 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 著
- 学科主题:
- 电子信息-信息工程-科技发展-研究-中国
- 学科主题:
- 集成芯片-制造-科技发展-研究-中国
- 中图法分类号:
- G203
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 提要文摘附注:
- 本书以产业发展主流工艺为导向，对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| G203/Z50-13 | 01317490 |  社会科学阅览室
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可借 | 社会科学阅览室 | |
| G203/Z50-13 | 01317491 | 社会科学阅览室
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可借 | 社会科学阅览室 | |
| G203/Z50-13 | 01317492 | 社会科学阅览室
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可借 | 社会科学阅览室 |
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