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- 题名/责任者:
- 硅微机械加工技术/(法)M.埃尔温斯波克(M.Elwenspoek), (捷)H.扬森(H.Jansen)著 姜岩峰译
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5025-9258-5/CNY58.00
- 载体形态项:
- 348页:图;26cm
- 并列正题名:
- Silicon micromachining
- 个人责任者:
- (法) 埃尔温斯波克 (Elwenspoek, M) 著
- 个人责任者:
- (捷) 扬森 (Jansen, H) 著
- 个人次要责任者:
- 姜岩峰 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 国外优秀科技著作出版专项基金资助
- 版本附注:
- 本书中文简体字版由Cambridge University Press授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述、硅的表面微机械加工技术、LIGA工艺、硅-硅直接键合工艺等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN4/A38 | 00563799 |  语言、自然科学阅览室
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可借 | |
| TN4/A38 | 00563800 | 语言、自然科学阅览室
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| TN4/A38 | 00563801 | 语言、自然科学阅览室
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可借 | |
| TN4/A38 | 00563802 | 语言、自然科学阅览室
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可借 | |
| TN4/A38 | 00563798 | 样本书阅览室
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可借 |
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