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题名/责任者:

微机电系统原理/(韩)Ki Bang Lee著 马晓军等译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09432-9 精装/CNY180.00

载体形态项:

10,597页;25cm

并列正题名:

Principles of microelectromechanical systems

丛编项:

国防科技著作精品译丛

个人责任者:

(韩) 李基邦 著

个人次要责任者:

马晓军 译

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

题名责任附注:

译者还有：吕强、王国胜、魏曙光等

版本附注:

由John Wiley & Sons International Rights, Inc.授权出版

提要文摘附注:

本书共分九章，第一章为绪论部分，介绍了微机电系统的量纲分析法。第二章介绍了微制造技术。第三章为微机电系统在静力平衡条件下的静力学分析。第四章为微结构的静力性能分析。第五章为微机电系统动力学分析。第六章为微机电系统流体力学分析。第七章介绍MEMS设计中涉及的基于电磁学的基本方程。第八章和第九章介绍如何通过MEMS组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。

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