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题名/责任者:

金属有机物气相外延:理论与实践/(美)杰拉尔德.B.斯特林费洛(Gerald B. Stringfellow)著 张国义,陈志忠译

版本说明:

2版

出版发行项:

北京:北京大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-301-27517-7/CNY91.00

载体形态项:

512页;23cm

并列正题名:

Organometallic Vapor-Phase epitaxy:theory and practice

其它题名:

理论与实践

丛编项:

中外物理学精品书系.引进系列;66

个人责任者:

(美) 斯特林费洛 (Stringfellow, Gerald B. ) 著

个人次要责任者:

张国义 译

个人次要责任者:

陈志忠 译

学科主题:

有机金属化合物-气相外延生长

中图法分类号:

O627

一般附注:

“十三五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目和索引(第502-512页)

提要文摘附注:

本书是金属有机物气象外延基础理论和应用实践方面的专著,该书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程,并和其他的外延工艺做细致的比较,第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面;热力学;表面物理过程;反应源;动力学以及流体力学和质量输运,第七章讨论了OMVPE生长过程的设计,包括动力学限制及高温区的生长,同时也对整体的OMVPE过程进行设计,第八章则介绍了如GaAs,Inp,GaN等特定的材料,第九章介绍了超晶格结构,第十章对OMVPE生长的器件进行了论述。

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