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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:15

题名/责任者:
脉冲激光沉积动力学原理/张端明[等]著 何敏华校
出版发行项:
北京:科学出版社,2011
ISBN及定价:
978-7-03-030595-4/CNY79.00
载体形态项:
12,395页:图;24cm
个人责任者:
张端明 (1941-) 著
个人次要责任者:
何敏华
学科主题:
脉冲(力学)-激光淀积-动力学-研究
中图法分类号:
TN24
一般附注:
中国科学院科学出版基金资助出版
题名责任附注:
著者还有:李智华、钟志成、李小刚、关丽
提要文摘附注:
本书介绍作者提出的能自洽描述全沉积过程的统一动力学模型,并逐一研究各工艺阶段的热动力学的规律,阐述有关的最新研究成果:基于局域守恒定律的等离子体的新演化模型,羽辉演化的近场、中场和原场行为的研究,包含热源项、蒸发项、吸收率动态变化和非傅里叶效应的综合烧蚀模型,薄膜的蒙特卡罗研究和若干标度规律的发现、修正和综合双温模型等。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TN24/Z12 00944358   语言、自然科学阅览室     可借
TN24/Z12 00944359   语言、自然科学阅览室     可借
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TN24/Z12 00944357   样本书阅览室     可借
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