MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：10
- 题名/责任者:
- 薄膜技术与薄膜材料/田民波编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-302-13238-0/CNY150.00
- 载体形态项:
- 25,962页;23cm
- 丛编项:
- 新材料及在高技术中的应用丛书
- 个人责任者:
- 田民波 编著
- 学科主题:
- 薄膜技术
- 学科主题:
- 薄膜-工程材料
- 中图法分类号:
- TB43
- 中图法分类号:
- TB383
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：Thin film technologies and materials
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析五大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面。
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