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题名/责任者:

薄膜生长/吴自勤, 王兵, 孙霞著

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:科学出版社,2013

ISBN及定价:

978-7-03-036731-0/CNY96.00

载体形态项:

xiv, 355页:图;24cm

丛编项:

现代物理基础丛书;54

个人责任者:

孙霞 著

个人责任者:

吴自勤 著

个人责任者:

王兵 著

学科主题:

薄膜生长

中图法分类号:

O484.1

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书集中介绍了薄膜科学中的关键部分 —— 薄膜生长。全书由五个方面15章的内容组成: 第一至四章主要从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识。第五至七章主要介绍薄膜中的缺陷和扩散。第八、九章主要介绍薄膜生长的三种模式和成核长大动理学。第十至十三章主要介绍金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象。第十四、十五章介绍薄膜制备和研究的各种方法。

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